上海雙旭SMC高真空閥系列產(chǎn)品介紹
一、 產(chǎn)品概述
上海雙旭SMC高真空閥是專為高真空及超高真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)的精密閥門，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析儀器、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。該系列閥門以其可靠的密封性、低漏率、耐腐蝕性和長壽命著稱。
二、 型號(hào)及關(guān)鍵參數(shù)
1. XLA-25
- 連接口徑： NW25 / KF25
- 閥體材料： 不銹鋼 (如SUS304)
- 密封材料： 氟橡膠(FKM)或金屬密封
- 漏率： ≤ 1.3×10⁻⁹ Pa·m³/s (氟橡膠密封)
- 適用壓力范圍： 大氣壓 ~ 1.3×10⁻⁷ Pa
- 驅(qū)動(dòng)方式： 手動(dòng)、氣動(dòng)或電動(dòng)
- 安裝方式： 法蘭連接
2. XLG-40-M9
- 連接口徑： 特殊接口，M9螺紋或快接
- 閥體材料： 不銹鋼
- 密封材料： 氟橡膠(FKM)
- 漏率： ≤ 1.0×10⁻⁹ Pa·m³/s
- 適用壓力： 高真空范圍
- 特點(diǎn)： 緊湊型設(shè)計(jì)，適用于空間受限的儀器內(nèi)部管路。
3. XLF-50-M9BC
- 連接口徑： NW50 / KF50，帶M9BC特殊接口
- 閥體材料： 不銹鋼
- 密封材料： 氟橡膠或金屬密封可選
- 漏率： ≤ 1.0×10⁻⁹ Pa·m³/s (氟橡膠)，金屬密封可達(dá)更高真空度
- 驅(qū)動(dòng)方式： 通常為氣動(dòng)
- 特點(diǎn)： "BC"可能表示帶反饋信號(hào)（如開/關(guān)位置傳感器）。
4. XLD-50-M9
- 連接口徑： NW50 / KF50，帶M9接口
- 閥體材料： 不銹鋼
- 密封材料： 氟橡膠(FKM)
- 漏率： ≤ 1.0×10⁻⁹ Pa·m³/s
- 閥類型： 可能是擋板閥、角閥或直通閥。
- 驅(qū)動(dòng)方式： 手動(dòng)或氣動(dòng)。
三、 使用注意事項(xiàng)
- 安裝前檢查： 安裝前確認(rèn)閥門規(guī)格與系統(tǒng)管路匹配，檢查密封面是否清潔、無劃傷。
- 清潔處理： 安裝前需對閥門及連接管路進(jìn)行徹底清潔和干燥，避免污染物進(jìn)入真空系統(tǒng)。
- 安裝力度： 法蘭連接時(shí)需均勻?qū)菙Q緊螺栓，避免因受力不均導(dǎo)致泄漏或損壞密封件。
- 操作壓力： 嚴(yán)禁在閥門兩側(cè)存在較大壓差時(shí)強(qiáng)行開啟，尤其是手動(dòng)閥，以免損壞閥瓣密封件。
- 環(huán)境與介質(zhì)： 確認(rèn)閥門密封材料（如FKM）與系統(tǒng)內(nèi)的介質(zhì)（如腐蝕性氣體）和工作溫度兼容。
- 氣動(dòng)/電動(dòng)驅(qū)動(dòng)： 確保驅(qū)動(dòng)氣源壓力在額定范圍內(nèi)（通常為0.4~0.6MPa），電源電壓與電磁閥要求一致。
- 維護(hù)保養(yǎng)： 定期檢查密封性能。更換密封件時(shí)，需使用原廠或指定規(guī)格配件，并重新進(jìn)行檢漏。
- 系統(tǒng)檢漏： 閥門安裝到系統(tǒng)后，必須對連接部位進(jìn)行整體氦質(zhì)譜檢漏，確保達(dá)到系統(tǒng)要求的漏率標(biāo)準(zhǔn)。
- 儲(chǔ)存： 閥門不使用時(shí)，應(yīng)處于關(guān)閉狀態(tài)，保持接口清潔并密封包裝，存放于干燥無塵環(huán)境。
